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 | |  特气柜制作与维修 |  | | 简介：
特气柜主要用要供应特种气体，如易燃，易爆，剧毒等，主要用于半导体和LED的新兴行业。
根据生产的需要，有普通的Gas cabinet和BSGS等大流量的气体供应气柜。 | |
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 | | Brooks 系列质量流量控制器 | | | 简介：
851S_数模橡胶密封质量流量控制器(21L12L)
数模橡胶密封;
流量范围:20-100 slpm;
精度:±0.7% of rate and ±0.2% F.S.;
压力:100/300 Bar | |
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 | | SIERRA 系列 质量流量控制器 | | | 简介：
数字式金属密封;
流量范围:10 sccm-5 slm;
精度:≤±1% of set point(25%-100% FS);≤±0.25% FS (2%-25% FS);
最大工作压力:70 psig(490 kPag) | |
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 | | HORIBA STEC质量流量控制器 | | | 简介：
品牌 STEC 型号 SEC-E60
类型 质量流量计 测量范围 3（m3/h） 精度等级 1
公称通径 6（mm） 适用介质 O 工作压力 1（MPa）
工作温度 65（℃） | |
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 | | UNIT-系列气体质量流量控制器 | | | 简介：
品牌 UNI-T/优利德
型号 8100 类型 质量流量计 测量范围 0.03-30slpm（m3/h）
精度等级 1 公称通径 6（mm） 适用介质 专用气体
工作压力 10（MPa） 工作温度 65（℃） 属性 属性值 | |
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 | | UNIT-系列气体质量流量计 | | | 简介：
品牌：
UNIT/优利德
型号：
8160
加工定制：
否
类型：
质量流量计
测量范围：
0.03-30slpm（m3/h）
精度等级：
1
公称通径：
6（mm）
适用介质：
专用气体
工作压力：
10（MPa）
工作温度：
65（℃）
属性：
属性值
详细说明 | |
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 | | MKS IM50A通用数字质量流量计 | | | 简介：
加工定制 否 品牌 MKS 型号 IM50A
类型 质量流量计 测量范围 5-50000sccm（m3/h） 精度等级 ±1%
公称通径 .01（mm） 适用介质 N2 工作压力 1（MPa）
工作温度 -20-80（℃） | |
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