特点： > 大抽速、大抽气量
> 抗辐射、抗氧化、快速循环.抗爆炸.
> 高前级耐压
> 高极限真空度
> 返油量极低
> 超常的使用寿命
扩散泵（AX,HS,VHS,NHS型号）参数对照 | 型号AX-65HS-2 VHS-4 VHS-6 VHS-250 抽速空气，L/s 65160750 1550 2125 最大前级耐压Torr/mbar没有负载有负载0.75/1.00.6/0.780.55/0.720.4/0.520.65/0.860.55/0.730.65/0.850.55/0.720.65/0.850.55/0.72 推荐前级泵抽速m3/hr 0.15/0.25 5.0/8.5 10/17 17/28.9 17/28.9 返油率mg/cm2/min标准冷带2×10-41×10-35×10-4 5×10-4 5×10-4 启动时间（min） 7 15 10 10 15 电源 1ph,50Hz,220V 1ph,50Hz,240V 1ph,50Hz240V 1ph,50Hz,240V 3ph,50Hz,240V 功率 200/250450 14502200 2200 冷却水l/hr,15-26°C N/A 0.1/200.15/30 0.25/500.25/50 |
| | 型号VHS-10 VHS-400 HS-16 HS-32 NHS-35 抽速空气，L/s3650 4500 6000 17300 28000 最大前级耐压Torr/mbar没有负载有负载0.65/0.850.55/0.720.65/0.850.55/0.72 0.65/0.820.55/0.720.50/0.650.35/0.450.55/0.710.40/0.52 推荐前级泵抽速m3/hr 30/51 30/51 80/136 300/510 300/510 返油率mg/cm2/min标准冷带5×10-41×10-3 1.5×10-37×10-4 5×10-4 启动时间（min） 15 30 45 60 －－ 电源 3ph,50Hz,380V 3ph,50Hz,380V 3ph,50Hz,380V 3ph,50Hz,380V 3ph,50Hz,380V 功率 4400 4400 8100/9600 24000 24000 冷却水l/hr,15-26°C 0.4/800.4/80 1.5/300 4.0/8004.0/800 |
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