| 标准规格| 排气速度（20℃） | 氮气 | L/s | 4,100 | | 氢气 | 6,000 | | 氩气 | 3,400 | | 水 | 9,500 | | 极限压力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | | 最大流量 | 氩气 | Pa・L/s(Torr・L/s) | 2.0×103(15.0) | | 氢气 | 4.1×102(3.1) | | 排气量 | 氩气 | Pa・L(Torr・L) | 4.4×108(3.3×106) | | 氢气 | 1.6×106(1.2×104) | | 冷却下降时间 | min(Hz) | 90/80(50/60) | | 吸气口法兰 | UVG-300,10BANSI | | 压缩机装置 | C30VR | | 重量 | Kg | 42 |
*保养周期：16,000小时
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