中型复合式磁悬浮分子泵
ATH2303MATH 2303 M
- 专为低成本安装设计
Adixen的ATH2300M复合式分子泵已经在半导体等恶劣环境应用下证明了其强劲能力。
全新设计的ATH2303M复合式磁悬浮分子泵采用集成式控制器，适用于非加热要求的各种应用，具有安装使用成本低等特点。结构设计紧凑，抽速大，气体处理能力强，5轴磁悬浮轴承设计保证泵运行稳定可靠。可提供DN200和DN250口径。 
安装使用方便：将泵连接至腔体，提供电源，冷却水及通讯信号，即可启动分子泵开始工作.
客户关注特性：
l 泵与控制器之间无需线缆连接
l 结构紧凑
l 高强度设计保证运行可靠性
l 5轴磁悬浮轴承设计保证无工艺气体污染，低噪音及振动等级
l 转速可调确保运行最优化
l 任意角度安装
l 复合式转子设计保证大抽速，允许非常高的的排气压力，节约前级泵的采购成本
l 轴承无需定期维护
l 工厂集成及测试，节省安装时间