阿迪克森介绍给您新型的磁悬浮涡轮分子泵

阿尔卡特阿迪克森通过引入ATH3200M扩大其产品种类，高流量的磁悬浮涡轮分子泵为ISOF 320法兰提供了高性能表现。 

该ATH3200M是专为高真空应用要求设计的，抽速结合高气体吞吐量高达5000 sccm N2 。 

这种泵的特殊性能，使其适用于轻型和苛刻的工艺过程，包括300毫米半导体的应用，平板显示，光伏，涂层，R/D ，空间模拟器等。