一种型号供所有应用工艺使用 ATP 系列提供抽速从80到900l/s的真空泵以及低极限压力值。三种型号: •标准型•适于腐蚀性应用工艺的C型•适用于高压强高腐蚀性应用工艺的HPC型逆向动态密封 C型与HPC 型都加入了了逆向动态密封。这一特点提高了气体吹扫在腐蚀工艺中的性能。同时,HPC型可加热至65°C,以防冷凝。 ACT 控制器:多种远程控制接口 ACT 控制器能更好的控制与监控ATP泵。由于其有许多控制接口可供选择,ACT控制器更易整合。 特点: •内部流导大 •低转速 •内部间隙大 优点: •避免使用旁通管道 •遇到各种突发情况时抵抗力强(空气流入、振荡等) •固体粉尘敏感度低(沉积、污染) 应用: •高真空 •空间模拟 •沉积 •粒子加速器 •通用物理实验 •离子束 •表面分析器 •进出口室抽气 •电子显微镜 •反应粒子离合 •物理气象沉淀 •离子注入
|