产品简介：特气柜主要用要供应特种气体，如易燃，易爆，剧毒等，主要用于半导体和LED、微电子等需要超纯洁净气体的行业。

产品分类：

按气体分类：特气柜（Gas Cabinet）（易燃\易爆\腐蚀\有毒\高纯气体）

              气瓶架 (Rack)（高纯气体，如高纯氧气、氩气等）

              阀门盘(VMB/VMP）（将气体分成若干歧路并供给到各个用气点的装备，一般安装在工艺装备四周。）

              BSGS（大宗特气输送系统，可持续进行超大流量不间断供应的特气供应系统，主要适用于工厂特气的集中供气。）

按瓶数分类：单瓶柜（架）/二瓶柜（架）/三瓶柜（架）/四瓶柜（架）

按操作方式分类：手动、半自动。

产品特点：

气路配件，接头、阀门等全部是进口电子级材料，管道为316L，自动轨道焊接。

气路设计合理完善，工作管路具备抽空、回充、压力指示等功能 ，气瓶柜留有排气口，并具有负压检测 。

气瓶柜箱体采用安全设计，所选用的材料适用于各种不同性质的气体，美观，紧凑，安全，质优价廉，可按照客户要求定制。

完善的安全报警装置，具有气体泄漏检测报警（如SiH4、PH3、HCL等泄漏报警）报警信号被触发时，自动切断。

产品功能：

自动吹扫： 包括钢瓶吹扫，面板吹扫，管路吹扫。

自动切换： 可以根据钢瓶重量，钢瓶压力，传输压力进行切换。

钢瓶加热：对一些以液态储存的钢瓶进行加热，保证出口压力的恒定，从而全面满足气体供应峰值时的实际需求。

参数设置： 所有的吹扫参数都在安全范围内向客户开放，操作人员可以依照实际的情况增加吹扫的次数和时间，以及其它的吹扫参数，以达到一个安全，高效的吹扫过程。

状态显示： 系统通过控制器前的的报警信号灯，可以明确地显示当时气柜的运行状态和是否存在报警，所有的阀门的状态和信号的读值，都在触摩屏上实时显示。