• 质量流量计/控制器
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产品名称:SIERRA 系列 质量流量控制器
产品简介:
数字式金属密封; 流量范围:10 sccm-5 slm; 精度:≤±1% of set point(25%-100% FS);≤±0.25% FS (2%-25% FS); 最大工作压力:70 psig(490 kPag)
  • 产品详情

数字式金属密封;
流量范围:10 sccm-5 slm;
精度:≤±1% of set point(25%-100% FS);≤±0.25% FS (2%-25% FS);
最大工作压力:70 psig(490 kPag)