用途:
空气、惰性气体等干净气体的排气 镀膜设备的装/卸料室的排气 真空冻结干燥设备的排气 分析仪器、小型实验设备的排气
优点:
1)由于排气室是非接触式而且没有使用油,没有发生油劣化所引起的排气性能降低或回转不良。
2)不需要冷却水和氮气。
3)使用气填功能时,需要氮气或干燥空气。
4)可以使用在长时间的大气/真空的反复排气工艺上。
5)排气速速可以从 280, 500, 1000, 5000L/min 选择。