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产品名称:EDWARDS IH 系列 干泵
产品简介:
产品型号:IH系列 品牌名称: EDWARDS简单介绍:Edwards 高级半导体真空泵已经过现场应用证明,可以按照工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率,同时程度地减小占地面积、降低运行成本,实现了高的可靠性和性能。
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iH80

iH160

iH600

iH1000

iH1800

峰值速度

103 m3h-1

165 m3h-1

600 m3h-1

1000 m3h-1

1800 m3h-1


61 cfm

97 cfm

353 cfm

589 cfm

1060 cfm


1717 l min-1

2750 l min-1

10000 l min-1

16670 l min-1

30000 l min-1

极限真空

1 x 10-2mbar

1 x 10-2mbar

7 x 10-4mbar

1 x 10-3mbar

1 x 10-3mbar


7.5 x 10-3Torr

7.5 x 10-3Torr

5.3 x 10-4Torr

7.5 x 10-4Torr

7.5 x 10-4Torr


1 Pa

1 Pa

0.07 Pa

0.1 Pa

0.1 Pa

典型轴封氮流量

4 slm

4 slm

4 slm

4 slm

4 slm

进气口连接

ISO63

ISO63

ISO100

ISO100

ISO160

出口连接

NW40

NW40

NW40

NW40

NW40

15 psi 压降下典型冷却水流量

120 l h-1

120 l h-1

240 l h-1

240 l h-1

240 l h-1


2 l min-1

2 l min-1

4 l min-1

4 l min-1

4 l min-1

重量

240 kg

244 kg

415 kg

430 kg

502 kg

极限功率输入

2.7 kW

3.1 kW

3.4 kW

3.8 kW

4.1 kW

电机额定功率

3.5 kW

5.0 kW

6.1 kW

6.1 kW

7.0 kW

油容量

0.7 l

0.85 l

1.43 l

1.48 l

1.6 l