类型 气体传输泵 品牌 日本爱发科ULVAC 型号 CRYO-U12/U16/U16P 材质 不锈钢 原理 真空泵 真空度 超高真空度 驱动方式 电动 性能 耐磨 用途 真空镀膜、表面分析、半导体加工、溅射镀膜、离子注入