| 主要特性Fast Regen™ 功能,可在再生间隔期间延长低温泵的性能 可以通过您的低温泵网络实现多台泵的同时再生,从而加速整套系统的再生 嵌入式微处理器控制系统可以提高性能、实现日常诊断并能提供通讯能力 精密的软件和易用的图形用户界面可以显著地改善性能和操作
On-Board 低温泵型号 | 4F | 8 | 8F | 10 | 10F | 250F | 400 | 500 | 抽速 (l/s) |
| 水汽 | 1,100 | 4,000 | 4,000 | 9,000 | 9,500 | 6,500 | 17,500 | 30,000 | 空气 | 370 | 1,500 | 1,500 | 3,000 |
| 2,200 | 6,000 | 10,000 | 氢 | 370 | 2,500 | 2,200 | 5,000 |
| 3,200 | 12,000 | 12,000 | 氩 | 310 | 1,200 | 1,200 | 2,500 |
| 1,800 | 5,000 | 8,400 | 容量(标准升) |
| 氩 | 210 | 1,000 | 1,000 | 2,000 |
| 1,000 | 2,500 | 6,000 | 氢 (5x10-6Torr) | 3 | 17 | 12 | 24 | 24 | 16 | 42 | 45 | 常规再生时间(冷态至冷态) |
| 第一级和第二级 | 75 分钟 | 2.5 小时 | 2.5 小时 | 2.5 小时 | 2.5 小时 | <3.3 小时 | 3 小时 | <3.8 小时 | 第二级 | <1 小时 | <1 小时 | <1 小时 | <1 小时 | <1 小时 | <1.5 小时 | <1.5 小时 |
|
|
|